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高精度磁気センサー

繰り返し精度±0.05μmを誇る
保護構造「IP67」の磁気センサー

高精度位置決めセンサー
HS-320/HS-321

HS-320/HS-321

精密移動台などの原点位置のセンターを高精度に検出するための高精度位置決めセンサーです。検出用の発磁体センターでスイッチング出力し、±0.05μmの高い繰り返し精度を得られます。磁気検出方式のため汚れや粉塵に影響されず、保護構造「IP67^※」にも完全準拠しているので、防水・防塵といった耐環境性能に優れた性能を持ちます。『HS-320』と『HS-321』は、超精密加工機の熱膨張補正用として数多く採用されています。
※ IEC規格とJIS規格で定められた電気機器内への異物の侵入に対する保護の等級

主な特長 ▼
応用事例 ▼
仕様表 ▼
タイムチャート図 ▼
外形図 ▼

主な特長

検出ヘッドは、直径φ3mm×17mmの小型なので取り付け位置を選ばない
検出ヘッドからディテクターまで長さ500㎜のコードで接続^※
『HS-320』は、出力形式：NPNトランジスターオープンコレクター出力（ノーマルオープン）
『HS-321』は、出力形式：PNPトランジスターオープンコレクター出力（ノーマルオープン）
※ ディテクターからは、長さ2,000㎜の出力コードを装備

オプション

発磁体（検出用ターゲット）

HSシリーズ専用の検出ターゲット（別売）です。
取り付け条件によって各種製品をお選びください（動作距離0.2～0.5mm）。

MG-210

山形タイプ（横取り付け）
MG-210B

山形タイプ（縦取り付け）
MG-220

フラットタイプ（横取り付け）

※ 環境に応じて磁石を選定しますのでお問合せください

推奨ヘッドホルダー『D-320』

材質は黄銅なので、磁気検出に影響がありません。
※ ヘッド固定に磁性材料を用いると、検出に影響を及ぼす恐れがあります。

代表的な応用事例

超精密加工機の熱膨張補正用
リニアエンコーダーの原点検出器
XYステージや回転テーブルの原点検出器

HS-320 / HS-321 / MG-210 / MG-210B / MG-220 / D-320 仕様表

高精度位置決めセンサー『HS-320』『HS-321』

項目			内容
製品名			高精度位置決めセンサー
形式			直流3線式
型番			HS-320	HS-321
検出体			発磁体（MG-210、MG-210B、MG-220）、その他（別途ご用命ください）
検出磁極			N極
検出感度			N極1.5±0.5mT
応差			0.2mT以下
検出距離			0.2～0.5mm（MG-210、MG-210B、MG-220使用時）
繰り返し精度			±0.05μm（MG-210、MG-210B、MG-220使用時、検出距離0.2～0.3mm、移動速度10μm/sec以下）
出力	出力形式		NPNトランジスターオープンコレクターノーマルオープン	PNPトランジスターオープンコレクターノーマルオープン
	開閉容量		耐電圧：最大DC30V シンク電流：最大100mA	耐電圧：最大DC30V ソース電流：最大100mA
	残留電圧		1V以下（シンク電流100mAにて）	1V以下（ソース電流100mAにて）
	応答時間		0.5ms以下
表示灯			赤色LED（検出時点灯）、ディテクター部に設置
電源電圧			DC+10～30V（リップル5%以下）
消費電流			30mA以下
保護構造			IP67（IEC規格）
使用環境	温度範囲		-10～+60℃
使用環境	湿度範囲		35～85%RH（ただし結露しないこと）
保存環境	温度範囲		-20～+70℃
保存環境	湿度範囲		35～85%RH（ただし結露しないこと）
材質	ヘッド部	ケース	パーマロイ、LCP
	ヘッド部	コード	ETFE、長さ500mm、外径2.5mm
	ディテクター部	ケース	アルミ（原色アルマイト）
	ディテクター部	コード	ETFE、長さ2,000mm、外径3.6mm、0.2mm²
外形寸法	ヘッド部		直径3mm（最大6mm）×長さ約41mm
外形寸法	ディテクター部		縦56mm×横40mm×高さ13mm
質量			約120g
RoHS			対応（通称RoHS2規制10物質）

発磁体『MG-210』『MG-210B』

項目	内容
製品名　商品名	発磁体
型番	MG-210	MG-210B
適応スイッチ／センサー	Hシリーズ、LSシリーズ
構造	横状取り付けタイプ	縦状取り付けタイプ
磁極	右側、N極　　左側、S極
使用温度範囲	-10～+60℃（ただし結露、氷結しないこと）
使用湿度範囲	35～85%RH（ただし結露しないこと）
保存温度範囲	-20～+70℃（ただし結露、氷結しないこと）
保存湿度範囲	35～90%RH（ただし結露しないこと）
外形寸法	横28mm × 縦10mm × 高さ9mm	横10mm × 縦28mm × 高さ9mm
取り付け寸法	M4ネジ用穴、2つ　　横方向　18mmピッチ	M4ネジ用穴、2つ　　縦方向　18mmピッチ
質量	約3.5g	約3.5g

発磁体『MG-220』

項目	内容
製品名　商品名	発磁体
型番	MG-220
適応スイッチ／センサー	Hシリーズ、LSシリーズ
構造	横状取り付けタイプ
磁極	右側、N極　　左側、S極
使用温度	-10～+60℃（ただし結露、氷結しないこと）
使用湿度	35～85%RH（ただし結露しないこと）
保存温度	-20～+70℃（ただし結露、氷結しないこと）
保存湿度	35～90%RH（ただし結露しないこと）
外形寸法	横24mm　×　縦7mm　×　高さ5mm
取り付け寸法	M3ネジ用穴、2つ　　横方向　13mmピッチ
質量	約1.5g

推奨ヘッドホルダー『D-320』

項目	内容
製品名　商品名	ヘッドホルダー
型番	D-320
適応製品	HS-320 HS-321
材質	ベース、クランパー　－　黄銅(C2801)　／　取り付け小ねじ　－　黄銅(C3604)
構成	ベース　　　　×　1 クランパー　　×　2 取り付けネジ　×　4（M1.4×2）
外形寸法	14×12×５
質量	3g